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某大学材料实验室

  特气系统设备为洁净室里所有工艺设备提供所需的工艺气体,是混合集成平台必不可缺的基本设备,属于混合集成平台的核心装备,将支撑微电子学院科研和教学。本设备的建设对于电子科学与技术和光学工程学科建设有重要的意义,年使用机时不少于3000 小时。


  该项目气体种类共计25种,含17种毒腐/易燃爆/极危险特种气体和8种普通高纯气体。配置全自动特气柜GC、全自动气瓶架GR、特种气体VMB、特种气体VMP、管道输送系统(包括双套管管道输送系统)、二次配、废气废液处理设备Scrubber、生命安全系统GMS、通风及废气处理。


项目成果