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新能源新材料实验室气路系统

客户背景:

此客户是做窑炉、反应炉、回转炉等设备的企业,广泛应用于新能源锂电及其他新材料行业。使用到硅烷、氢气、氯气等危险气体,配套设备仪器使用


客户需求:

1)所使用的气体比较危险,管道系统需要高安全性配置

2)气体柜更多的是对泄漏联锁,紧急切断等功能要求

3)用气量不大,需要做二级调压,高压端用单瓶供气

4)需要做管道二次配系统


解决方案:

1)工艺气体控制设备

A:硅烷等毒腐燃爆类供气设备GC

毒腐燃爆类气体使用Hisptech 型全自动特气柜,全自动触摸屏操作(带外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等)

B:普氮等惰性类气瓶控制架

Hisptech型双瓶气体自动切换气体控制设备,带压力报警,带泄漏报警对接,带超压保护,可远程控制,可远程切断,远程 EMO 紧急关断

C:终端气体控制设备

Hisptech 型VMB(硅烷、氮气)二进四出,具有自动紧急远程切断、带抽真空、外吹扫、泄漏报警对接,通风出口等

2)气体管道输送系统

管道需要按照整幢楼的现状及洁净室建设及装修综合 情况进行安全布置,并按照对应工艺设备实际需要安全科学分送到洁净室内指定设备处。管道的布置须 使用安全且必要的双层套管(内层管为洁净抛光 EP 级管,中间真空,外层做 BA 级管)中间抽真空且进行真空监控,所有管材及管阀件须用国际知名品牌 EP 级材料

3)GMS 气体管理系统

气体侦测报警。通过气房及现场多个国际知名品牌泄漏侦测器多点侦测,每个侦测器分两级报警,报警信号在当地与 BMS同时触动,当泄漏量达到二级浓度时,触动当地与 BMS 的报警灯的同时,联动触动相应的设备 Shutdown,停止相应气体供气。并与洁净室控制系统联动,打开/关闭 相关门禁,输出相应广播,进行人员疏散

项目成果