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高纯气体系统是为了供应高纯气体而存在的一套供气系统,为了保证气体的高纯度,对高纯气体系统从设计到选材到施工都有很严格的要求。
高纯气体系统主要用在科研、大学实验室、生物、医药研究等地方。
科研、大学实验室、生物、医药研究经常用到超高纯工艺气体,这些气体的纯度要求大多在99.999%(5N)或以上,对工艺气体、供气设备、输送管线等要求较高,在气体输送过程中不得出现泄漏,污染等情况。部分特种气体的危害性较大,腐蚀性强的气体更是对系统选材的要求极为高。
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