气体报警生命安全系统是为了监控FAB内特气的分配和处理系统。这个系统也监控毒性和可燃性气体泄漏并且指示系统连锁关闭和逃生警报。

实验室气路指实验室气体管道工程，即从气瓶至仪器终端之间连接的管线。实验室气体管路安装是从气源钢瓶站(气瓶间)总阀门到各相关的仪器间工作台上各个气体阀门,一系统的工艺流程。气路系统主要应用于处理高纯度气体，或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是真正的针对实验室的气路系统。

实验室供气系统是半导体生产过程中必不可或缺的系统，其直接影响全厂生产的运行和产品的质量。相比较而言，集成电路芯片制造厂由于工艺技术难度更高、生产过程更为复杂，因此所需的气体种类更多、品质要求更高、用量更大，也就更具有代表性。实验室供气系统是在气柜基础上开发出来的，可以持续进行超大流量不间断供应特气的供应系统。

在真空离子镀膜中，所选用不同气体所生产出来的，液态气体色泽也会不一样，氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时，工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品

在新能源汽车的发展版图中，还有一种驱动模式悄然兴起，这就是氢燃料电池驱动。氢燃料电池驱动汽车拥有远超电力驱动汽车的续航里程，充电3分钟开车24小时将不再是梦想。

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体

　实验室用气有部分气体具有易燃、易爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害。

在半导体化合物生产过程中，除了纯特种气体之外，还需要部分混合气体，主要包括SiH4/H2.SiH4/N2作为成膜源用量尽管不大，但是对产品质量要求极高，配制混合气体的露点达到-95℃以下，只有这样才可以保证外延片生长的成品率。