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大流量全自动特气柜(BSGS)
  • 氦检报告
  • 三色塔灯
  • 防爆电控箱
  • 高压测漏功能
  • 带自清洁功能
  • 工艺瓶自动供气
  • 4寸排风口及阀门
可选配置
  • 喷淋头
  • 带加热盘面
  • 高温探测报警
  • 配置电子磅秤
  • 配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
  • 前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
  • 为保证安全，所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌      
适应气体
  • 燃爆性气体：如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
  • 毒腐性气体：如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业

  • 应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。

应用行业
  • 光伏太阳能
    光伏太阳能
  • 半导体芯片
    半导体芯片
  • 生物医药工程
    半导体芯片
  • 高校科研实验室
    高校科研实验室
  • 微电子新材料
    微电子新材料
  • 材料分析实验室
    材料分析实验室
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