在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，在一些管道的连接处可能会有一些肉眼难以察觉的小孔，使用时会导致泄漏，造成事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业中，如果发生泄漏，输送超高纯电子特殊气体的燃气管道工程将对生产安全产生很大影响，因此检漏非常重要。

一.常说的氦检是什么？

首先，我们要了解，气体管道的五项测试是QC中最重要的一部分，这五项测试分别是：保压测试、氦气检漏测试（氦检）、水分测试、氧分测试和颗粒测试，确保气体管道系统的品质达到一定的水准和满足客户的需求。

二.氦气是如何检漏的呢？

众所周知，在元素周期表中，氦（He）的相对分子质量是除氢（H）以外最小的，是最轻的惰性气体。气体管道的氦气检漏（氦检）利用的就是这一点。

1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。

2.向内检漏法（氦气注入法）是通过内部吸入高纯度气体管线，外部喷射氦气来进行的

3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入氦气，并在下游抽真空

4.必须使用朝外检漏法（吸枪法）在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物，并使用外部吸枪检查可能的泄漏点

5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器，检测精度不低于1

6.高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求：

（1）通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s

（2）阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

7.氦检漏发现的泄漏点修复后，必须重新进行气密性试验，合格后，再按规定进行氦检漏

8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热

9.系统测试后，用高纯度氮气或氩气填充和清洁

10.检查后，应提交试验报告