落地式阀门控制箱

落地式阀门控制箱


(1)基础配置

尾气排放功能;

具备一个预留扩充点

气体分配柜的负压应持续监控。

防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆

紧急切断功能,风压事故报警功能等

为保证安全,所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌

符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳

带外吹扫、带抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,泄漏报警对接,通风出口等

每个stick 配置:手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表,压力传感器、减压阀,单向阀,过滤器、安全阀等

 

(2)产品特性

主材全部采用 SUS316无缝不锈钢管

主体阀门管件全部来自Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌国际一线品牌




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(3)适用气体

易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等


(4)适用行业

Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等