特气分配柜(VMB)

特气分配柜(VMB)




落地特气阀门分配箱(Valve Manifold Box),是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。


VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。


ST2100 VMB通过采用安装的压力表、手动阀等装置,具有成本低的优势,能够实现设备安全有效的运行,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

特气分配柜(VMB).jpg

适用气体:


易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。


适用行业:


Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等。