等离子废气处理柜(Scrubber)

您当前的位置:

首页>产品>废气处理柜(Scrubber)

等离子废气处理柜(Scrubber)


(1)基础配置

尺寸:1000(W) * 1000(D) * 1800(H)

进气口:进口1~4端口,入口模块组件温度监测( 120℃ ↓)

湿式洗涤:防腐项目(高树脂涂层室)、Switch 方式的 流量供给监测、湿式洗涤温度监测(35℃以下)

湿式储罐:高树脂涂层室、容量充分的 循环水、抽水机

等离子体室(反应器):自上而下流动系统、室内温度传感器、防腐项目(内腔_ SUS310)

2)适用气体

燃爆毒腐性气体,如 气(F2), 砷(AS), 温室气体(GHG)等

 

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室

微信图片_20231128160920.png