水洗+燃烧二合一(Scrubber)

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水洗+燃烧二合一型(Scrubber)


处理流量:600SLM


(1)基础配置
燃烧温度850

冷却水入口流量检测
燃烧室温度监测与报警
助燃气体入口压力检测

燃烧效率大于 99.999%

加热腔体采用C276材质
循环水槽水位与漏液检测

对稀释气体流量进行控制

各种气体独立进Scrubber

混合进入的CDA及N2流量进行控制

■排风口压力、浓度、温度监测报警

进气口配单向阀、可燃气配阻火器

■触摸屏+国际知名品牌PLC自动控制

进入气体管道炉前管道自动轨道焊接

设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性

进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管
变频循环水泵,流量最大80L/min,最大可调6米扬程








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(2)适用气体

燃爆毒腐性气体,如氢气(H2), 硅烷(SiH4), 氯气(Cl2), 气(F2), 氨气(NH3), 三氯化硼(BCl3)等

 

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室