双瓶全自动特气柜

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双瓶全自动特气柜


型号:HSPGC150107

特气柜尺寸:W550宽×D500深×H1800高

■ 外吹扫:PN2,1/4"MVCR接口

■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口

■ 气动隔膜阀:CDA驱动,1/4"卡套接口

■ VENT排空管:1/2MVCR接口

■ 工艺气体出口:2个,1/4"MVCR接口

■ 盘面规格:1/4"盘面

■ 标准配备:防爆防腐柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,远程切断,欠压报警,主材SS316L

■ 柜体换气量:4"排气口,1200次/小时

■ 控制柜尺寸:W550宽×D230深×H320高

■ 控制柜电源:220VAC,50HZ,200W,漏电保护

■ 操作界面:7"彩色触摸屏

■ 选配:工艺气瓶重量监控器,工艺气体超压报警,盘面加热及温控装置,报警信号手机短信与电话通知

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适用范围:应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。